超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18 MΩ*cm，或接近18.3 MΩ*cm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 [2]  。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。

超純水渦輪流量計主要測量不導電介質,連接方式有螺紋,法蘭以及快裝連接,現場顯示并可輸出電流信號和通訊,供數據遠傳使用.

廈門精川純水流量計,純凈水渦輪流量計常見故障及解決方案:

一、流體正常流動時無顯示，總量計數器字數不增加 

　　1. 檢查電源線、保險絲、功能選擇開關和信號線有無斷路或接觸不良 

　　2. 檢查顯示儀內部印刷版，接觸件等有無接觸不良 

　　3. 檢查檢測線圈 

　　4. 檢查傳感器內部故障，上述1-3項檢查均確認正常或已排除故障，但仍存在故障現象，說明故障在傳感器流通通道內部，可檢查葉輪是否碰傳感器內壁，有無異物卡住，軸和軸承有無雜物卡住或斷裂現象 

解決方案 

　　1. 用歐姆表排查故障點 

　　2. 印刷板故障檢查可采用替換“備用版”法，換下故障板再作細致檢查 

　　3. 做好檢測線圈在傳感器表體上位置標記，旋下檢測頭，用鐵片在檢測頭下快速移動，若計數器字數不增加，則應檢查線圈有無斷線和焊點脫焊 

　　4. 去除異物，并清洗或更換損壞零件，復原后氣吹或手撥動葉輪，應無摩擦聲，更換軸承等零件后應重新校驗，求得新的儀表系數 

二、 未作減小流量操作，但流量顯示卻逐漸下降 

　　1.  過濾器是否堵塞，若過濾器壓差增大，說明雜物已堵塞 

　　2.  流量傳感器管段上的閥門出現閥芯松動，閥門開度自動減少 

　　3.  傳感器葉輪受雜物阻礙或軸承間隙進入異物，阻力增加而減速減慢 

解決方案 

　　1.  消除過濾器 

　　2.  從閥門手輪是否調節(jié)有效判斷，確認后再修理或更換 

　　3.  卸下傳感器清除，必要時重新校驗                      

廈門精川純水設備配套渦輪流量計解決方案 

　　1.  檢查屏蔽層，顯示儀端子是否良好接地 

　　2.  加固管線，或在傳感器前后加裝支架防止振動 

　　3.  檢修或更換閥 

　　4.  采取“短路法”或逐項逐個檢查，判斷干擾源，查出故障點

廈門精川超純水渦輪流量計應用:
超純水可以在以下領域使用 [4]  ：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
（2）化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
（4）高壓變電器的清洗等

超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。 一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。